高纯特气柜

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高纯特气柜：半导体制造的"生命支持系统

在芯片制程进入3纳米时代的今天，特气柜作为特殊气体存储与分配的核心设备，其纯度控制精度直接决定着晶圆良品率。现代半导体工厂中，一套完整的特气系统包含气瓶柜、阀门箱、气体面板等模块，采用316L电解抛光不锈钢管路，内表面粗糙度需控制在0.25μm以下，确保氮气、氩气等惰性气体在输送过程中纯度维持在99.9999%级别。 2025-05-08 00:00:00

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